高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备；主要用于处理100～600mm宽幅之材料，材料在真空室内部水平处理，上下料简单，可用于刻蚀工艺。
编号 | 项目 | 详情 |
1 | 机台名称 | 卷对卷式等离子体处理系统 |
2 | 机台型号 | OKSUN-RTR2000L-W800H |
3 | 处理宽幅 | 100mm～800mm（可定制） |
4 | 真空腔 | 2000L（可定制） |
5 | 电源系统 | 2KW～10KW等离子体发生源 |
6 | 控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
7 | 进气系统 | 标配2路工作气体，可扩展至5路工作气体（Ar2、N2、H2、CF4、O2） |
备案号： 浙ICP备2026080611号-1
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