微波等离子清洗机

产品简介

项目	固态源版本	磁控管版本
输出功率	250W×8	1.25kW×2
输出频率	2400MHz-2500MHz可调节	2450MHz±25MHz
频率误差	±50ppm	1-2%
微波泄露	≤2mW/cm2	≤2mW/cm2
冷却方式	水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C）	水冷（DN15宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C）
工艺气体	Ar、O2、H2、CF4等	Ar、O2、H2、CF4等
等离子处理面积	0.19m2	0.15m2